低溫煙氣脫硫脫硝技術以低溫氧化技術為簡單有效，由于煙氣中的氮氧化物主要組成是NO（占95%），NO難溶于水，而高價態的NO₂、N₂O₅等可溶于水生成HNO₂和HNO₃，溶解能力大大提高，很容易通過堿液噴淋等手段將其從煙氣中脫出。將煙氣中的NO轉化為高價態，需引入較強的氧化劑，在眾多氧化劑中，臭氧是環保清潔的強氧化劑，在高效轉化NO至高價態的過程中不遺留任何二次污染物，另外不同于?OH、?HO₂ 等，工作環境惡劣，自由基存活時間非常短，能耗較高，O₃的生存周期相對較長，將少量氧氣或空氣電離后產生O₃，然后送入煙氣中，可顯著降低能耗。